Vakuumkabel

Vakuumleitungen für die Halbleiterindustrie

Für Vakuumanwendungen werden ausgasungsfreie Materialien verwendet und eine partikelarme Fertigung im Reinraum ist Voraussetzung.

Die Halbleiterindustrie stellt höchste Ansprüche an die dort eingesetzten Kabel und Leitungen. Ein außerordentlich hoher Grad an Reinheit in der Produktion, spezielle Reinigungsprozeduren, Temperverfahren und Verpackungsprozesse sind für diese Produkte erforderlich.